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潔凈室施工-特種設(shè)施的安裝(高純氣、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的安裝)

更新時(shí)間:2016-09-20  |  點(diǎn)擊率:1363

1、管路系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗(yàn)和純度測(cè)試。
2、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前,應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說明書或合約的要求,檢查設(shè)備(包括填充的純化材料等)、閥門和管件的完整性、密封性,并作檢查記錄。
3、純化設(shè)備、特氣柜的搬運(yùn)、就位應(yīng)符合下列規(guī)定:
(1) 搬入潔凈室(區(qū))前,應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的清潔,符合要求后從規(guī)定的設(shè)備搬入口運(yùn)入;
(2) 整體設(shè)備搬運(yùn)時(shí),應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運(yùn)輸,不得倒置,并可靠固定;
(3)設(shè)備就位時(shí),應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說明書要求,準(zhǔn)確做好接管、接線定位;
(4)就位后,水、電接口應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求連接;
(5)氣體管道接口,應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝,應(yīng)符合下列要求:
(1)檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等,并作好記錄;
(2)安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件、產(chǎn)品說明書要求進(jìn)行,并檢查接管、接線方位的正確性;
(3)氣體管道接口,應(yīng)在所在系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設(shè)施施工安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)的純度測(cè)試,應(yīng)符合下列要求:
(1)純度測(cè)試介質(zhì),宜采用工作氣體進(jìn)行;
(2)測(cè)試氣體的壓力,宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計(jì)壓力相同;
(3)測(cè)試氣體的檢測(cè)取樣口或排氣接口,應(yīng)設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量zui嚴(yán)格且距離zui長(zhǎng)的用氣設(shè)備處;
(4)純度測(cè)試過程,取樣時(shí)間的間隔宜為4h左右;氣體樣品應(yīng)采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的精度等級(jí)的儀器進(jìn)行分析;
(5)當(dāng)測(cè)試氣體的進(jìn)、出口的純度及其雜質(zhì)含量(一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表)一致時(shí),即認(rèn)為純度測(cè)試合格。
6、管路系統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)符合下列要求:
(1)高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的強(qiáng)度試驗(yàn)、氣密性試驗(yàn)和泄漏量試驗(yàn)及試驗(yàn)壓力,均應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求;
(2)試驗(yàn)氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣;試驗(yàn)氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強(qiáng)度試驗(yàn)壓力后,保持10min,然后降壓至氣密性試驗(yàn)壓力,檢查接口、焊縫是否泄漏,以不漏為合格;
(3)氣密性試驗(yàn)合格后,進(jìn)行泄漏量試驗(yàn),試驗(yàn)氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時(shí),系統(tǒng)以設(shè)計(jì)壓力保持24h,檢查泄漏率不超過0.5%為合格。采用氦氣為試驗(yàn)氣體時(shí),系統(tǒng)以設(shè)計(jì)壓力保持1h,檢查泄漏率不超過0.5%為合格。若不合格,檢查原因并進(jìn)行完善后,再進(jìn)行泄漏量試驗(yàn),直至合格為止;
(4)管路系統(tǒng)的試驗(yàn),一般均不包含純化設(shè)備、特氣柜和閥門箱等。
7、管路吹掃應(yīng)符合下列要求:
(1)應(yīng)按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進(jìn)行吹掃;
(2)管路系統(tǒng)應(yīng)采用0.3.0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進(jìn)行吹掃,吹掃氣體應(yīng)設(shè)置過濾精度嚴(yán)于0.31tm氣體過濾器去除微粒;對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路宜采用純氮吹掃;
(3)在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查,以靶上未見微粒為合格;對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路系統(tǒng),應(yīng)以排出口吹掃氣體中含氧量小于1%為合格。

 

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